苏州中芯启恒科学仪器有限公司
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3英寸单抛硅片
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仪器耗材
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物流:广西壮族自治区 玉林市
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联系人: 周
信息编号:
60573344
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详细信息
直径mm | 3寸(76.2mm) |
生长方式 | 直拉单晶(CZ) |
硅片纯度 | 11N(99.999999999%) |
晶向 | 100110111 |
掺杂类型 | N型(掺磷)P型(掺硼)无掺杂 |
电阻率 | 0.005~20000可按要求定制 |
厚度um | 400或按要求定制 |
平整度TIRum | <3um |
翘曲度TTVum | <15um |
弯曲度BOWum | <15um |
粗糙度Ranm | <1nm |
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